T/CASMES 432-2024 X射线光电子能谱（XPS）测试服务规范

标准编号：T/CASMES 432-2024

标准名称：X射线光电子能谱（XPS）测试服务规范

英文名称：Specification for X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) testing services

发布日期：2024-11-25

实施日期：2024-12-01

起草人

陈龙、朱旦、殷尧、殷文宇、周玉铎、顾坚、李亚丽、许红星、李文豪、王巧、杨磊

杭州研趣信息技术有限公司、江苏集萃光电检测中心有限公司、常熟理工学院、季华实验室、南通默斯检测有限公司、北京理工大学重庆创新中心、青岛大学、哈工大郑州研究院、广东省科学院半导体研究所、哈尔滨工业大学

本文件规定了 X 射线光电子能谱（XPS）测试服务的基本要求、服务流程、服务质管理。

本文件适用于科研机构、检测机构和企业实验室（以下简称“测试机构”）开展的 X 射线光电子能谱（XPS）测试服务。