DB13/T 6034-2024 热场发射电子枪灯丝更换与调校规范

标准编号：DB13/T 6034-2024

标准名称：热场发射电子枪灯丝更换与调校规范

发布日期：2024-10-28

实施日期：2024-11-28

起草人

郝晓亮、吴爱华、赵英伟、王秀海、孙虎、曹健、马培圣、张文雅、文黎波、乔玉娥、郑飘逸、王维、赵伟、陈立红

中国电子科技集团公司第十三研究所、河北杰微科技有限公司

本文件给出了热场发射电子枪灯丝的失效判断标准，并规定了热场发射电子枪灯丝的更换和调校操作流程等。

本文件适用于应用于电子束光刻机、扫电镜、关键尺寸扫电子显微镜等设备仪器的热场发射电子枪灯丝的更换和调校，其它类型的电子枪灯丝的更换与调校不适用于本文件。