GB/T 44849-2024 微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法

标准编号：GB/T 44849-2024

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法

英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials

发布日期：2024-10-26

实施日期：2025-05-01

起草人

曹诗亮、李根梓、孙立宁、许磊、王春举、钱峰、张红旗、张启心、王文婧、马卓标、胡永刚、王雄伟、王学文、张森、武斌、汤一、陈林

起草单位

合肥美的电冰箱有限公司、无锡华润上华科技有限公司、微纳感知（合肥）技术有限公司、西北工业大学、深圳市美思先端电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、宁波科联电子有限公司、美的集团股份有限公司、华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）、北京晨晶电子有限公司

适用范围

本文件描述了测量厚度范围为0.5μm～300μm金属膜材料成形极限的方法。

本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS的金属膜材料。