GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

标准编号：GB/T 44839-2024

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials

发布日期：2024-10-26

实施日期：2025-02-01

起草人

周维虎、李根梓、霍树春、高成臣、杨剑宏、陈志文、聂萌、张平平、陈思、王冰、孙宏霖、刘胜、刘景全、陈立国、焦斌斌、黄庆安、陈晓梅、卢永红、谢红梅、刘志广

起草单位

中国科学院微电子研究所、苏州容启传感器科技有限公司、北京大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、东南大学、中关村光电产业协会、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市道格特科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、武汉大学、上海交通大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、芯联集成电路制造股份有限公司

适用范围

本文件描述了微柱压缩试验方法，用于MEMS 材料压缩特性的高精度、高重复性测量，且试样制造难度适中；测量试样单向压缩应力-应变的关系，得到试样压缩弹性模量和屈服强度。

试样是通过微加工技术在刚性（或高刚度）基体上制造的圆柱，其高径比（高度与直径的比值）大于3为宜。本文件适用于金属、陶瓷、高分子等材料制备的高度小于100μm微柱的测试。