GB/T 44515-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

标准编号：GB/T 44515-2024

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

发布日期：2024-09-29

实施日期：2025-01-01

起草人

王永胜、张红宇、张菁华、孙立宁、李拉兔、刘会聪、毛志平、路文一、王志广、汤一、郑冬琛、陈得民、卢弈鹏、袁长作、陈福操、李树成、安志武、李根梓、苏翼、张新伟、邢文忠、徐堃、单伟中、许克宇、要彦清、娄亮、姚鹏、胡晓东、仲胜利、侯杰、王志宏

起草单位

北京自动化控制设备研究所、芯联集成电路制造股份有限公司、苏州大学、太原航空仪表有限公司、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司、北京遥测技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、天津大学、河北初光汽车部件有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、华景传感科技（无锡）有限公司、安徽奥飞声学科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、华润上华科技有限公司、中国航天科工飞航技术研究院、深圳市美思先端电子有限公司、西安交通大学、上海新微技术研发中心有限公司、上海芯物科技有限公司、北京大学、共达电声股份有限公司、广东润宇传感器股份有限公司

适用范围

本文件描述了用于压电式微传感器和微执行器等器件的压电薄膜机电转换特性测量方法。

本文件适用于MEMS工艺制备的压电薄膜。