GB/T 44631-2024 晶片承载器传输并行接口要求

标准编号：GB/T 44631-2024

标准名称：晶片承载器传输并行接口要求

英文名称：Requirements for wafer carrier handoff parallel I/O interface

发布日期：2024-09-29

实施日期：2025-04-01

起草人

程朝阳、田涛、曹可慰、吴怡然、张宝帅、李殿浦、郭训容、刘学庆、赵俊莎、孙岩、李英、钟结实、蔡书义、王凯、武小娟

北京北方华创微电子装备有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中聚材料有限公司

本文件规定了晶片承载器自动传送并行输入/输出接口的信号定义、信号传送要求、异常处理，以及连接器和传感器的要求。

本文件适用于半导体制造领域、用于晶片承载器往返于主动型设备和被动型设备之间的自动传送操作。