T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范

标准编号：T/QGCML 4572-2024

标准名称：高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范

英文名称：Production and manufacturing specifications for high-precision and ultra clean wafer claws

发布日期：2024-08-12

实施日期：2024-08-27

起草人

罗中平、雷超、赵鹏志

常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司

本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。

本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造。