GB/T 20510-2024 氧化铟锡靶材
标准编号:GB/T 20510-2024
代替了下列标准:GB/T 20510-2017
标准名称:氧化铟锡靶材
英文名称:Indium-tin oxide target
发布日期:2024-09-29
实施日期:2025-04-01
起草人
朱世会、朱刘、黄誓成、曾墩风、左鸿毅、郑林、李庆丰、陈文麟、傅清波、黄作、刘慧明、曾平生、骆胜磊、陈钦忠、童培云、覃雪莲、葛春桥、蒋少英、李喜峰、李鹏、余芳、朱赞芳、王志强、李强、张建华、王慧河、王凯凯、张科
起草单位
先导电子科技股份有限公司、广西晶联光电材料有限责任公司、中山智隆新材料科技有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司韶关冶炼厂、上海大学、河北恒博新材料科技股份有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司、株洲冶炼集团股份有限公司、芜湖映日科技股份有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、成都中建材光电材料有限公司、广东欧莱高新材料股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司
适用范围
本文件规定了氧化tI锡靶材(以下简称ITO靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于由In2O3和SnO2粉末按照一定比例混合,以常压烧结工艺生产的氧化铟锡靶材,是制作透明导电薄膜的核心材料。