SJ/T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法

标准编号：SJ/T 11883-2022

标准名称：扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法

英文名称：Calculation method of thermal equilibrium, thermal efficiency and comprehensive energy consumption for diffusion furnace

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

起草人

张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜

中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所

本文件描述了扩散炉热平衡测试与计算基准、测定项目及测定方法、热平衡计算方法、热效率计算方法、综合能耗计算方法。

本标准适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算，对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件。