YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材

标准编号：YS/T 1024-2015

标准名称：溅射用钽靶材

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

钟景明、李桂鹏、汪凯等

起草单位

宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等

适用范围

本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）