GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

标准编号：GB/T 4298-1984

标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

英文名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials

发布日期：1984-03-28

实施日期：1985-03-01

起草单位

有色金属研究总院

适用范围

本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。