GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法

标准编号：GB/T 4059-1983

标准名称：硅多晶气氛区熔磷检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon--Examination method--Zone-melting on phosphorus under controlled atmosphere

发布日期：1983-12-20

实施日期：1984-12-01

起草单位

峨嵋半导体材料厂

适用范围